Ngay sau đó, Tiêu Diễn bắt đầu tiến hành các kế hoạch để đoạt lấy đế vị về mình. Sau khi thảm khảo ý kiến của các lão bằng hữu là Thẩm Ước và Phạm Vân (范雲), Tiêu Diễn bắt đầu đưa các huynh đệ và thuộc hạ của mình vào các vị trí quan trọng. Trong khi đó, Tiêu Diễn buộc Vương thái hậu phải ban cho mình các chức tước cao hơn nữa, trì hoàn việc Hòa Đế hồi kinh. Tiêu Diễn cũng bắt đầu hành quyết từng người một trong số các bào huynh đệ và đường huynh đệ của Hòa Đế, mục đích là để loại trừ việc chống đối khi ông thực hiện các bước đi tiếp sau. Tiêu Diễn tự ban cho mình tước Lương công, và sau đó nâng lên thành Lương vương, và trao cho mình cửu tích, báo hiệu hành động tiếm vị sắp xảy ra.

Tiêu Diễn cuối cùng đã cho đưa Hòa Đế quay trở về Kiến Khang. Tuy nhiên, mùa xuân năm 502, khi Hòa Đế mới chỉ đến Cô Thục (姑孰, nay thuộc Mã An Sơn, An Huy), Tiêu Diễn đã buộc hoàng đế phải ban một thánh chỉ thiện nhượng cho mình, kết thúc triều Nam Tề và mở ra triều Lương. Tiêu Diễn (tức Lương Vũ Đế) phong cho cựu hoàng đế tước hiệu Ba Lăng vương, song ngay sau đó đã giết chết, khiến dòng Minh Đế tuyệt diệt (ngoại trừ Tiêu Bảo Dần chạy sang Bắc Ngụy). Tuy nhiên, với hậu duệ của Nam Tề Cao Đế và Nam Tề Vũ Đế (hầu hết họ đã bị Minh Đế thảm sát), Lương Vũ Đế đối đãi với họ bằng thái độ tôn trọng, phong nhiều người trong số họ làm quan, viện lý do rằng ông và hoàng tộc Nam Tề có chung tổ tiên. Lương Vũ Đế lập người con trai nhỏ tuổi tên Tiêu Thống làm Hoàng thái tử. Trước đó, ông đã nhận con trai của lục đệ Tiêu Hoành tên Tiêu Chính Đức và Tiêu Chính Đức muốn mình trở thành hoàng thái tử; vì thế nên sau khi phong Tiêu Thống làm hoàng thái tử, Lương Vũ Đế đã hủy bỏ việc nhận nuôi và đưa Tiêu Chính Đức về gia đình Tiêu Hoành, khiến Tiêu Chính Đức oán hận.